L'attrezzatura include un sistema completo di vuoto/CVD con la sua
elettronica di controllo, componenti a vuoto, pompe ad alto vuoto,
alimentatori RF, attuatori e sensori. Il telaio, originariamente
prodotto nel 1998, ha subito un importante aggiornamento nel 2011 con
componenti più recenti. Secondo i registri di sistema, è stato
utilizzato l'ultima volta nel 2021.
Il sistema viene venduto così com'è, per ricambi o riparazioni,
poiché la macchina non è stata completamente alimentata o testata.
Era acceso solo l'armadietto elettrico. Il sistema non era
completamente connesso e non aveva una password, il che impedisce
ulteriori test o verifiche della conformità agli standard di
sicurezza.
Il sistema è composto dai seguenti componenti principali:
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2X Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC (1torr e 10torr)
1X VAT 26432-KA41-0001/0319 Valvola
ad angolo di vuoto
1X PFEIFFER IKR 251 CATODO
FREDDO COMPATTO AD ALTO VUOTO
Valvola
HI VAC larga 1X
Sistema di attuazione 1X THC-8AWDS attuatore lineare 400mm
1x Dressler RF - AE Dressler VM 1000 A, 1000 W 13,56 MHz
Unità
di controllo
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
1X magnetron drive ADVANCED ENERGY MDX 500 (non si accende)
Alimentatore
RF 1X Cesar
1X MKS, Tipo 252, 252C-1-VPO, Controller
valvola di scarico
Regolatore
automatico di pressione 1X MKS Tipo 152
Computer
rack-mount 1X 19\"
Armadio di controllo del flusso di massa (incluso)
(nessuna password per il software di controllo)
La pallettizzazione e il carico saranno eseguiti dall'acquirente sul
posto
Auction-ID: A1-47375-2