Le nuove potenti pompe a secco:
La serie ADH è stata progettata appositamente per il solare
sviluppato per i processi impegnativi dei mercati dei semiconduttori e
dei LED,
Con una capacità di aspirazione di 600-4500 m3/h.
Semiconduttori: elevata velocità di pompaggio di H2
Le prestazioni della serie ADH apportano i seguenti vantaggi al
processo:
-Prestazioni del processo ADL: elevata efficienza di pompaggio dei gas
leggeri
Consente uno svuotamento più rapido della camera tra le fasi del
processo
- Epitassia ed EUV: alta velocità di pompaggio e alta portata
La tolleranza soddisfa le specifiche di processo più esigenti
Pompa a secco Adixen AD30K, alto vuoto, AD 30 KL
Produttore: Alcatel Adixen
Tipo: AD30K. H
Anno di costruzione: 2008
Adixen AD100K. H
Produttore: Alcatel Adixen
Tipo: AD100K. H
Anno di costruzione: 2008
Pompa a vuoto:
Produttore: AERZEN
Tipo: GM 2000 CM-C
Velocità: 6000 giri/min
Tensione: 200-460 V
Frequenza (olio minerale/olio PFPE): 100 c/s
Capacità massima di aspirazione: 4035 m3/h
Velocità massima: 5920 giri/min
Potenza del motore C5849119 S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Anno di costruzione: 2008
Peso: 345 kg
Pompa a secco:
Produttore: Adixen
Tipo: BF ADP122
Anno di costruzione: 2008
Potenza 1,5 kW
Capacità massima di aspirazione: 95 m3/h
Pressione massima di ingresso continua: 50 mbar
Pressione massima di scarico: 1200 mbar
Acqua di raffreddamento: 60 l/h
Velocità (pompa): 3000-3600 giri/min
Temperatura di esercizio della pompa: da 5 C a 40 C
Flangia di ingresso: DN 50 ISO-KF
Flangia di scarico: DN 40