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Sistema di esposizione senza maschera EVG Lithoscale
parti elettriche / parti elettriche
Fabbricante: EVG
Modello:Lithoscale
Tipo di macchina: Sistema di esposizione senza maschera
Numero di articolo: 168185564
Quantità: 1
Data: 07.12.2025
Anno di fabbricazione: 2023
Luogo: Munich, Germany
Prezzo:
Seller-item-No.:8087731
Produttore: EVG
Modello: Lithoscale
Anno di costruzione: 2023
Condizione Nuovo-Mai usato
Configurazione tecnica:
• Per l'esposizione senza maschera di wafer di dimensioni fino a 300 mm
• Stadio ad alta precisione con compensazione dell'errore dello zoccolo senza contatto
• Autocalibrazione tramite sensori integrati
• Estensibilità fino a due (2) testine di esposizione in totale per la massima produttività
• Unità di controllo separata
• Software EVG CIM U51258834 Framework
• Autodiagnosi durante l'avviamento della macchina, inizializzazione automatica di tutti i motori, finecorsa di posizione, sensori e pneumatici
• Ispezione disponibile su richiesta
• Controllato da PC
Modello: Lithoscale
Anno di costruzione: 2023
Condizione Nuovo-Mai usato
Configurazione tecnica:
• Per l'esposizione senza maschera di wafer di dimensioni fino a 300 mm
• Stadio ad alta precisione con compensazione dell'errore dello zoccolo senza contatto
• Autocalibrazione tramite sensori integrati
• Estensibilità fino a due (2) testine di esposizione in totale per la massima produttività
• Unità di controllo separata
• Software EVG CIM U51258834 Framework
• Autodiagnosi durante l'avviamento della macchina, inizializzazione automatica di tutti i motori, finecorsa di posizione, sensori e pneumatici
• Ispezione disponibile su richiesta
• Controllato da PC
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