Pompa e controller turbomolecolari non presenti!
2× Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC
Manometro
compatto a catodo freddo PFEIFFER IKR 251
IVA 26432-KA41-0001/0319 valvola
ad angolo di vuoto
Ulteriori grandi valvole
a vuoto IVA
Grandi assemblaggio
valvole ad alto vuoto
Hardware
per la Gestione dei Gas, l'Attuazione e i Processi
Sistema di attuazione attuatore lineare THC-8AWDS (corsa di 400
mm)
Vari sensori, inclusi sensori di pressione, temperatura e
commutazione
Vari attuatori, inclusi valvole solenoidi e elementi
riscaldanti
Telaio CVD (originale SP-500, adattato nel 2011)
Armadio di controllo del flusso di massa (incluso)
Sicurezza e Protezione
dei Processi
RF e Erogazione
di Potenza
RF DRESSLER – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz
Unità
RFPP RF10S
Advanced Energy MDX 500 (non funzionante – non si accende)
Potenza RF AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz
Alimentatore TDK Lambda GEN40-125
Unità di controllo ed elettronica
Regolatore
valvola di scarico MKS Tipo 252C-1-VPO
Regolatore
automatico di pressione MKS Tipo 152
Regolatore
automatico di pressione MKS Type 600
MKS Tipo 2708
PC rack-mount da 19\" (nessuna password per il software di
controllo)
Auction-ID: A1-49139-3
seller offer No. resale
2b318ceb-23fe-4095-8ee2-0396f2a76b39, Laboratory equipment package